「光電產業ito廢料銦回收技術之開發」
在光電產業蓬勃發展帶動下，全球tft-lcd顯示器需求量提升，使ito透明導電薄膜成為金屬銦的主要用途。依據美國國家地質調查局統計，2014年全球銦總產量與總需求量分別為820噸與1,500噸，造成銦資源供不應求的窘境日益嚴重。
本計畫將探討以環保性溼式冶金技術回收光電產業ito廢料中的金屬銦，並評估該技術於國內發展之可行性，以達到廢棄物資源化的目的，亦可同時簡化銦回收技術處理程序，減少能源消耗，實為目前具特殊創新與潛力之資源化貴金屬回收技術。
光電產業主要排放的含銦廢棄物為ito廢靶材、磁控濺射製程上廢料與廢lcd顯示器等ito廢料，以及含銦清洗廢液與lcd顯示器蝕刻廢液等ito廢料。
ito廢靶材：以直流濺射鍍膜的ito靶材利用率約30~50%，且絕大部分之ito材料於製程中浪費在濺鍍腔室內，所以ito廢靶材及其廢料是銦二次資源的最大來源。
廢lcd顯示器：將製程上的不良品或使用後得廢lcd顯示器拆解後，可得含有ito鍍層的玻璃基板，其銦含量不高。
含銦清洗廢液：含銦清洗廢液為使用高純度金屬銦前，先以酸液清洗表面氧化層後所收集到的含銦清洗廢液，含銦量約10%以下。
lcd顯示器蝕刻廢液：lcd顯示器製造廠常以蝕刻液進行液晶面板蝕刻，製成廢液的含銦量約200ppm。
|
